1 、在低壓下 ，當陰極和陽極間加上高壓時 ，引起場致發射 。

2 、在電 、磁場作用下電子作螺旋運動 。

3 、電子與氣體分子碰撞產生正離子和二次電子 ，引起雪崩效應。正離子轟擊鈦陰極 ，濺散出鈦原子落在陽極筒上 ，形成新鮮鈦膜 ，也有的落在陰板外圍區(β區) 。

4 、活性氣體與新鮮鈦膜反應形成化合物 ，化學吸附在陽極筒內壁 。隋性氣體被電離 ，離子在電場作用下轟擊陰極過程中被排出 。其排除方式為 ：
1)離子直接打入陰極表麵內或β區 ，斜射的離子切入陰極表麵 ，離子和鈦一起被掀掉 ，埋葬在β區 ，
2)離子沒打入陰極內 ，從陰極得一電子恢複為中性原子或分子 ，反射到陽極內表麵被埋掉 ，這叫“荷能中性粒子反射” 。

5 、對於氫 ，由於其質量小 ，氫離子轟擊鈦板的濺射產額甚低 ，氫離子 H2+ 或 H+ 打到鈦板上與電子複合變成H原子 ，然後擴散入鈦的晶格內 ，形成TiH固溶體而被排出 。常溫下這種固溶體中H2的濃度為0.05％ ，當溫度高於250oC以上時 ，便又開始分解放出氫 。鈦大量吸氫後 。由於放熱反應鈦板溫度上升 ，達到250oC以後 ，除重新釋放氫之外並導致鈦板晶格膨脹造成龜裂 。通常需加大鈦板的散熱能力來改善濺射離子泵對氫的排除能力 。要提高對氫的抽速 ，需保持鈦板表麵清潔 ，選用晶格常數較大的β-Ti或鈦合金作為陰極板 ，或引入與氫可比擬的氬含量 。因氬的濺散產額高 ，可提高對氫的抽速 。